北京中芯國際新水源廠
一、項目概況
北京中芯國際新水源廠位于北京市大興區亦莊經濟開發區內，設計規模1.0萬噸/天，一期規模0.5萬噸/天，主體處理工藝為“CMF-RO”雙膜工藝。項目以小紅門污水廠出水作為水源，經雙膜法工藝凈化處理后，為中芯國際芯片制造供給工業用超純水。
該項目為碧水源首座“CMF-RO”雙膜工藝示范項目，有效保障了中芯國際北方項目集成電路板生產用水水質，為我國污水資源化在高端制造工業中的的應用起到了示范作用。
北京中芯國際新水源廠
二、工藝流程
該項目以小紅門污水處理廠的出水作為水源，由超濾進水泵升壓至自清洗過濾器進入超濾系統，超濾系統產水經反滲透進水泵、保安過濾器及高壓泵進入反滲透系統進行深度脫鹽，反滲透系統產水進入終端產水箱，通過輸水泵送至中芯國際緩沖水箱。
三、進出水水質
（1）進水指標
（2）出水指標
四、技術經濟指標
（1）單位水量占地：0.4m2/m3
（2）單位水量投資：6400元/m3
（3）直接運行成本：2.25元/噸（其中電費0.63元/噸，藥劑費0.25元/噸）
（4）CMF系統回收率：≥95%
（5）RO系統回收率：≥75%
（6）CMF系統運行壓力：≤0.08 MPa
（7）RO系統運行壓力：≤0.8 MPa
五、技術特點
本項目采用連續膜過濾（CMF）技術和反滲透（RO）技術結合在一起而形成的雙膜處理技術，其特點包括：在反滲透系統前設置連續膜過濾系統，可以有效地防止反滲透膜的污染和堵塞，極大地延長了反滲透膜的使用壽命。
CMF采用碧水源具有完全自主知識產權的超濾膜技術，其機理是利用超濾膜兩側的壓力差，使水和溶解物透過膜，而截流懸浮物、細菌等。其特點如下：
出水水質好：孔徑分布窄，過濾精度高，產水濁度小于0.5NTU。
抗污染性強：元件寬流道結構、脈動式運行，專有均化盤結構設計，組器環形布水布氣結構，更加均勻，有效控制污染。
占地面積小：膜堆集成度高，系統占地面積小。
安裝維護易：可拆卸式膜組件，結構緊湊，安裝方便適用于大中型工程項目。
使用壽命長：采用新型共混配方和“3H”制膜專利技術，使用壽命5年以上。
反滲透采用碧水源自主生產的反滲透膜元件，脫鹽率高，出水水質穩定，幾乎能阻擋所有溶解性鹽及分子量大于100的有機物。其主要特點如下：
脫鹽率高：采用全新的涂層技術和自動化卷膜工藝，膜元件標準脫鹽率可達99.5%以上；
產水率高：精準界面反應控制及二次后改性交聯技術，使膜元件的綜合脫鹽率和產水量均達到國內領先水平；
抗污性強：采用專利涂覆技術，對膜表面進行物理化學改性；“短膜袋，多流道”設計，降低膜污染，提高抗污染性能；
壽命長：獨特元件結構及后處理工序，配合34mil進水寬流道，可在更寬泛的pH（1~13）內達到有效清洗效果，使元件更經久耐用；
能耗低：改進優化芳香族聚酰胺脫鹽層、開發更大比表面積，滿足在相同產水量要求時，降低運行壓力，節約能源。
