硅片甩干機(jī)的電氣系統(tǒng)及邏輯控制電路部分

　　·采用變頻器調(diào)速，使速度變換溫度；

　　·采用plc控制所有的操作可靠，所有故障都一目了然；

　　·程序設(shè)計(jì)可靠，能滿足上述功能要求，并且有報(bào)警提示；

　　·速度調(diào)節(jié)，溫度調(diào)節(jié)，每道程序的運(yùn)行時(shí)間都可以調(diào)整；

　　·高溫加熱與低溫加熱器導(dǎo)線采用高溫線。

　　硅片甩干機(jī)在工作過程中執(zhí)行下面四個(gè)動(dòng)作：

　　1.復(fù)位待機(jī)。機(jī)器通電后，機(jī)器初始化復(fù)位，等待接受運(yùn)行指令。

　　2.噴淋清洗。機(jī)器接受到START指令，甩干桶按照設(shè)定的速度轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)定的時(shí)間，同時(shí)噴淋管噴出高純水清洗硅片表面。

　　3.甩干。噴淋結(jié)束，甩干機(jī)進(jìn)入甩干階段，甩干桶按照設(shè)定的速度轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)定的時(shí)間，同時(shí)甩干機(jī)加熱器加熱高純N2,并噴向硅片，去除硅片表面水分，達(dá)到甩干的效果。

　　4.甩干時(shí)間到，甩干桶停止供電。啟動(dòng)剎車動(dòng)作。

　　5.停止。甩干桶*停止轉(zhuǎn)動(dòng)，機(jī)器回到復(fù)位待機(jī)狀態(tài)。

　　6.機(jī)器在運(yùn)行過程中，如果遇到特殊情況，按動(dòng)STOP按鈕，機(jī)器馬上停止轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)入復(fù)位待機(jī)狀態(tài)。